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先进的多关节机器人手臂设计,高速合成功能,无需走行轴,可对应单排Loadports。
直驱电机(DD电机)高平稳传送晶圆,高可靠性MCBF>12M,防腐蚀功能, 自动纠偏功能。
高洁净度,高产能,高可靠性,客制化。
多种功能对应&易操作性,高效可视化,操作便捷,WPH≥250(带OCR)。
高洁净度,高真空,多种对接工艺机台方式,高精度,高Throughput。
高洁净度,高真空,高Throughput,多种对接工艺机台方式。
我们为所有员工提供平等培养、公平晋升、可持续发展空间。加入我们,期待和你一起在不断拓展创新的业务场景中,跃向无界未来。