为半导体传输提供技术解决方案
Total Solution Provider For Transfer
关于广川
以国际领先的半导体传输技术
为中国半导体产业发展保驾护航
广川立志打破技术壁垒,实现半导体传输设备的自主可控发展之路,
致力于为国内提供全链路的半导体传输技术解决方案。
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全系列产品

大气机器人

先进的多关节机器人手臂设计,高速合成功能,无需走行轴,
可对应单排Loadports。

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真空机器人

直驱电机(DD电机)高平稳传送晶圆,高可靠性MCBF>12M,防腐蚀功能,
自动纠偏功能。

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EFEM

高洁净度,高产能,高可靠性,客制化。

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Sorter

多种功能对应&易操作性,高效可视化,操作便捷,
WPH≥250(带OCR)。

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平台

高洁净度,高真空,多种对接工艺机台方式,
高精度,高Throughput。

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成套解决方案

高洁净度,高真空,高Throughput,多种对接工艺机台方式。

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