广川为半导体多种工艺设备
提供传输解决方案
真空平台是半导体具有真空工艺设备的重要传输部件，作为半导体工艺设备的中转区承接着多个腔体的晶圆传输。
广川的真空平台可结合刻蚀、CVD、ALD、电子束检测等高真空工艺设备的需求特点，搭配多种真空机器人，实现高性能，高稳定性的传输。
| 项目 | 规格 | |
|---|---|---|
| Load Lock | 数量 | 可定制 |
| Slot | 可定制 | |
| 传输腔体 | 表面处理 | 多种表处方式 |
| 真空机器人 | GVM3HDA/GVM3HQF | |
| 真空泵 | 可选配 | |
| 真空性能 | 1E*-9 Torr | |
| 传输精度 | ≤1mm | |
| 多边形设计 | ||
