广川为半导体多种工艺设备
提供传输解决方案
Sorter是半导体晶圆厂中重要的分选设备，广川的Sorter搭配自研机器人，具有高稳定性，高效率等特点，已量产应用至半导体知名FAB厂。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品 | 8Port Sorter |
| 型号 | GS08 |
| 外形尺寸(mm) | W2600 D1271 H2200 |
| Port 数 | 8 |
| 搬运对象 Wafer | 300mm Silicon Wafer(直径:300mm±0.2mm 厚度775μm) |
| 对应 Carrier | 300mm FOUP, 300mm Auto FOSB |
| Clean 度 | ISO Class1 |
| Robot | GM124ANE/GM124ANV |
| Pre Laligner | PER1130/PVR1130 |
| Robot Controller | SR100 |
| Loadport | 国产or日产 |
| FFU | ULPA 99.99995% at 0.1μm |
| Carrier ID | RFID,Barcode 可选 |
| Wafer ID Code | SEMI-T7, M12, M13, M1.15 |
| 电源电压 | 单相 220V, 50Hz, 3kVA |
| 压空 | 0.4~0.6MPa, 140L/min |
| 真空 | -80~-70kPa, 45L/min |
